無錫埃瑞微半導體設備有限責任公司是一家專注于集成電路前道工藝量檢測設備研發及制造的科技創新型企業，聚焦于前道Overlay套刻裝備。致力于為光刻工藝的大批量生產提供以套刻誤差為代表的量測設備及其他缺陷檢測設備，擁有國內頂尖的技術開發能力和堅實的設備量產經驗。

卓源亞洲成立于2016年6月15日，起源于清華大學FIT樓4-204實驗室。由清華大學校友共同創辦。卓源亞洲致力于打造中國最領先的人工智能及集成電路投資機構，創始團隊累計管理與投資規模超過30億人民幣。卓源亞洲的使命是在源頭投資具備世界級影響力的偉大人工智能企業。

卓源亞洲是一家清華系聚焦于集成電路及人工智能領域的投資機構，卓源亞洲及其創始團隊先后投資了百川智能、中科時代、小馬智行、江行智能、第四范式、九章云極、基流科技、實在智能、生數科技、瑞萊智慧、庭宇科技、睿魔智能、靈汐科技、焱融科技、思謀科技、越疆科技、博瀚智能、拓元智慧、弋途科技、昂視智能、暢行智能、可之AI、瑛菲網絡、全時云、賦樂科技、星漢數智、云丹云碼等AI企業。

卓源亞洲先后投資了清微智能、輝羲智能、昂納科技、中茵微電子、篆芯半導體、埃瑞微半導體、沐曦集成電路、共績算力、芯德半導體、斑巖光子、芯睿科技、芯承半導體、蓋澤半導體、首芯半導體、邁睿捷半導體、美浦森半導體、必博半導體、齊芯半導體、艾斯譜光電、芯得銘半導體、芯運智能、華美興泰、靈動微電子、瑞迪微電子、清醒異構、深流微半導體、衍梓裝備、艾博特機器人、磅旗精工、智毅聚芯、睿魔智能、深藍航天、靈汐科技、一徑科技、永泰數能、智佳能自動化、中興新材等集成電路企業。